Sensofar S neox 作為新型 3D 共聚焦白光干涉光學輪廓儀，核心優勢在于多測量技術的集成設計。其傳感器頭內整合了共聚焦、白光干涉、相位移干涉及 Ai 多焦面疊加技術，無需手動切換，系統可依據任務自動匹配適配技術。
產品細節上，設備采用模塊化結構，光學模塊、樣品臺與控制模塊可獨立拆卸，機身尺寸 600mm×500mm×750mm，重量 70kg，適配多數實驗室空間。光學系統防護等級達 IP54，能抵御常見粉塵與少量濺水，鏡頭接口兼容 2.5x 至 100x 標準物鏡，還可適配長工作距離、偏光等特種物鏡。
性能方面，縱向分辨率在白光干涉模式下達 0.1nm，相位移干涉模式下進一步優化至 0.05nm，橫向分辨率低 0.12μm，單次掃描深度可達 8mm，支持 86° 斜率表面測量。搭配實時環境補償算法，在振動幅度超 100nm 的環境中仍能穩定工作。
用材上，核心光學部件選用高純度熔融石英玻璃，透光率超 92%，鏡頭采用氧化硅與氟化鎂復合增透膜，反射率≤0.5%。樣品臺底座為高強度鑄鐵，臺面采用 304 不銹鋼，經精密研磨后平整度差≤2μm。
核心參數簡表
用途覆蓋半導體晶圓檢測、光學鏡片形貌分析等場景。使用時先通過 SensoSCAN 軟件預覽定位，再選擇對應測量模式，新手可直接采用默認參數。
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更新時間：2025-10-11
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