Sensofar 推出其最為先進(jìn)的 3D 光學(xué)輪廓儀：PLu neox

PLu neox是Sensofar 最為先進(jìn)的光學(xué)輪廓儀。基于一系列成功的PLu 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品，PLu neox 結(jié)合了共聚焦掃描、相位差干涉、白光干涉與分光光度計(jì)，能最為廣泛地應(yīng)用于3D 和薄膜測(cè)量技術(shù)。這一強(qiáng)大的功能結(jié)合能實(shí)現(xiàn)對(duì)技術(shù)表面以精細(xì)至小于0.1 納米的垂直分辨率進(jìn)行2D 和3D 分析，測(cè)量斜率超過(guò)70 度的光滑表面以及分辨率小于1 納米的薄膜測(cè)量。

此外，Sensofar 還加入了其的掃描微顯示技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)每秒多達(dá)12.5 張共聚焦圖像的快速共聚焦掃描。改進(jìn)的共聚焦和干涉算法能實(shí)現(xiàn)高達(dá)800 微米/秒的垂直掃描速度，以及5 秒之內(nèi)的典型測(cè)量時(shí)間（包含計(jì)算時(shí)間）。PLu neox包含了兩種垂直掃描儀：能實(shí)現(xiàn)精至0.01 納米高分辨率3D 測(cè)量的Piezo 支架掃描儀，和能實(shí)現(xiàn)超過(guò)40 毫米測(cè)量范圍的大型垂直掃描儀。PLu neox擁有自動(dòng)化的XY 軸掃描平臺(tái)，能處理大至500 mm2 的樣本。另可選擇超過(guò)50 種放大倍率從2.5x 到200x 的尼康物鏡，應(yīng)用范圍。

工具操作和程序創(chuàng)建通過(guò)SensoSCAN 軟件執(zhí)行。SensoSCAN軟件包含一套完整的2D 和3D 數(shù)據(jù)分析和查看工具。基于Digital Surf 的Mountains 軟件技術(shù)，SensoMAP 用于高級(jí)鑒定和數(shù)據(jù)報(bào)告，能提供直觀先進(jìn)的分析軟件，擁有各種視圖、表面控制器和國(guó)際統(tǒng)一表面標(biāo)準(zhǔn)。

Sensofar 團(tuán)隊(duì)在PLu neox中集成了先進(jìn)的光學(xué)和技術(shù)，創(chuàng)建了強(qiáng)大的3D 輪廓儀和薄膜分析工具，能夠應(yīng)對(duì)各種各樣的表面測(cè)量應(yīng)用。

Sensofar 在接下來(lái)的數(shù)月內(nèi)將在各大展覽中展示PLu neox。