ZP3-4 微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設備進行電學表征。

ZP3-4 微納探針臺參數(shù)

探針數(shù)量：4個探頭，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨立驅動（X、Y、Z三自由度）;

運動：壓電驅動；

步進速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

運動范圍：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

運動分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

探針規(guī)格：針柄直徑為0.51mm（0.020’’）;

產(chǎn)品優(yōu)勢

快速、準確、穩(wěn)定

ZP3-4微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂，每個三軸配備1個可拆卸式電學探針接口，可在毫米級尺度上進行宏觀運動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運動。

使用場景多樣化

ZP3-4微納探針臺結構緊湊，占用空間小，運動行程大，可匹配各種顯微鏡樣品臺，真空室，光學試驗臺等工作條件。

完善的技術解決方案

Z P 3 - 4 微 納 探 針 臺 與 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺電學測量系統(tǒng)，為宏觀行程上進行的微觀尺度電學及表征測量提供了具體的解決方案。

直觀、方便

ZP3-4微納探針臺通過手柄控制，具有多級宏觀調(diào)速，脈沖運動，以及位移微調(diào)功能，宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s，單點脈沖步進可達300nm以下，微調(diào)運動分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，準確。

高度集成

ZP3-4微納探針臺電學測量系統(tǒng)，配備完善的光學顯微鏡模塊，配備亮度調(diào)節(jié)，增益和變焦等功能，與電腦連接后，可實現(xiàn)圖像快照，尺寸測量和標注，視頻記錄等常規(guī)功能。