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PRODUCTS CNTER
產品簡介
Sensofar S lynx 是一款集成了多種光學測量技術的三維表面輪廓儀，旨在為工業檢測和科研分析提供高精度的表面形貌數據。該系統通過創新的光學設計，實現了對各類材料表面的非接觸式測量。?Sensofar S lynx 光學輪廓儀技術解析
產品分類
Sensofar S lynx 是一款多功能光學輪廓測量系統，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統采用模塊化光學設計，可滿足半導體、精密光學和材料科學等領域的表面測量要求。Sensofar S lynx 光學輪廓儀技術解析
• 結合共聚焦、干涉和白光垂直掃描三種測量技術
• 自動切換測量模式，適應不同表面特性
• 垂直分辨率可達亞納米級
• 水平分辨率最高可達0.5μm
• 采用高數值孔徑物鏡，提升測量精度
• 自動對焦與樣品導航功能
• 多視野拼接功能，擴大測量范圍
• 可選配不同放大倍率物鏡
• 自動表面參數計算（粗糙度、臺階高等）
• 三維形貌可視化分析
• 多區域對比測量功能
• 自定義分析模板設置
半導體晶圓與器件表面檢測
精密光學元件面形測量
MEMS器件三維形貌表征
功能性涂層表面分析
材料科學研究與質量檢測
• 建議在穩定環境條件下使用
• 測量前需進行系統校準
• 根據樣品特性選擇合適的測量模式
• 高反射/低反射樣品可能需要參數調整
Sensofar提供以下專業支持：
系統安裝與操作培訓
測量方法開發指導
定期維護校準服務
軟件功能升級支持
應用技術支持咨詢
Sensofar S lynx 通過其多技術融合的測量能力和智能化分析功能，為微納米表面形貌表征提供了靈活的解決方案。該系統適用于需要高精度表面分析的研發和質量控制場景。Sensofar S lynx 光學輪廓儀技術解析