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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀布魯克白光干涉輪廓儀產品介紹
產品簡介
布魯克白光干涉輪廓儀產品介紹布魯克白光干涉儀的應用范圍覆蓋了從前沿科學研究到工業化生產的多個環節。
產品分類
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布魯克白光干涉光學輪廓儀是一種用于表面形貌測量的光學設備。該儀器基于白光干涉原理，能夠對多種材料的表面進行非接觸式三維形貌測量。其核心部件包括光源系統、干涉鏡頭、精密位移臺和信號處理單元。設備采用模塊化設計，可根據用戶需求選配不同放大倍率的物鏡，以適應從微米到納米級別的測量需求。布魯克白光干涉輪廓儀產品介紹
該產品的主要用途包括材料科學、微電子制造、精密加工和生物醫學等領域的表面質量檢測。例如，在半導體行業，可用于晶圓表面粗糙度和臺階高度的測量；在光學加工中，可用于透鏡和反射鏡的面形檢測。
儀器使用高剛性合金材料外殼，內部光學元件采用抗環境干擾設計，具有良好的熱穩定性和機械穩定性。配套的操作軟件提供數據采集、分析和報告生成功能，用戶可通過圖形界面輕松完成測量設置和結果解讀。
參數方面，該型號垂直分辨率可達0.1納米，橫向分辨率取決于物鏡配置，最高可達0.3微米。掃描范圍通常為數毫米至數十毫米，具體取決于型號和配置。測量速度可根據精度要求進行調整，平衡效率與數據質量。
使用該設備時，需先將樣品固定在載物臺上，通過軟件選擇測量區域和參數，啟動自動測量程序即可。儀器支持自動聚焦和多區域掃描功能，適合批量檢測需求。定期維護包括光學元件清潔和系統校準，以保證長期使用的穩定性。布魯克白光干涉輪廓儀產品介紹