澤攸臺階儀：納米級形貌測量的創新之選

在半導體制造、新材料研發與生物醫療領域，微觀表面形貌的精準量化是推動技術迭代的核心要素。澤攸科技憑借多年技術沉淀，推出JS系列臺階儀，以模塊化設計與自主創新技術，為科研與工業用戶提供高適應性的形貌測量解決方案。

產品系列與核心參數

JS系列涵蓋JS100B、JS200B、JS300B及全自動型號JS2000B，適配不同場景需求：

• 型號對比：

性能亮點：從硬件到算法的協同優化

1. 雙LVDT傳感器技術
   澤攸臺階儀采用自主研發的直立式雙LVDT傳感器，突破傳統杠桿式結構局限。傳感器1實時監測探針壓力（恒力范圍0.5-50mg），傳感器2反饋壓電陶瓷位移，實現“所測即所得"的線性測量，避免圓弧補償誤差。在鈣鈦礦薄膜厚度測量中，該技術可將35-40nm超薄層的重復性偏差控制在0.5nm以內。

2. 超平掃描臺與動態調焦
   配備納米光柵反饋系統與超光滑平晶導軌，掃描平整度達20nm/2mm，支持55mm長距離掃描。JS2000B型號集成正視/側視高像素相機，結合主動聚焦技術，可在掃描前快速定位樣品測試點，避免離焦導致的邊緣失真，尤其適用于柔性電子器件的曲面掃描。

3. 多場景探針配置
   提供標準探針（曲率半徑>2μm）與亞微米探針（曲率半徑<1μm）兩種選擇。在MEMS陀螺儀表面波紋測量中，亞微米探針可捕捉曲率半徑≤1μm的微觀結構，同時通過動態力控避免損傷樣品。

澤攸臺階儀：納米級形貌測量的創新之選