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產品簡介
SensofarS neox的細節與性能表現要深入了解Sensofar S neox的特點，需要關注其實現多模式測量的技術細節和由此帶來的性能表現。
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要深入了解Sensofar S neox的特點，需要關注其實現多模式測量的技術細節和由此帶來的性能表現。
其核心技術之一是“光路共享"設計。三種測量模式（共聚焦、VSI、PSI）通過同一物鏡和光路進行測量，這不僅簡化了機械結構，更重要的是保證了不同模式測量數據的位置關聯性，使得從一種模式切換到另一種模式時，無需重新定位，數據具有可比性。
在共聚焦模式下，儀器通過激光或LED光源，利用共聚焦針孔排除焦平面以外的散射光，逐層掃描樣品表面，最終重建出高清晰度的三維圖像。此模式對高角度斜面（可達87°）的測量有良好表現。
在白光干涉模式下，寬帶光源發出的光被分光鏡分成兩束，分別投射到參考鏡和樣品表面。反射光發生干涉，通過分析干涉條紋的對比度變化來精確計算高度信息。此模式垂直分辨率高，適用于光滑表面的精細測量。
相移干涉模式使用單色光，通過精密移動壓電陶瓷（PZT）來改變參考光路的光程，采集多幅干涉圖進行運算，其垂直分辨率可達亞納米級，但測量范圍較小，專用于超光滑表面的測量。
性能參數示例（因配置而異）：
橫向分辨率： 可達0.3 μm（取決于物鏡）
垂直分辨率： 共聚焦模式可達納米級，干涉模式可達亞納米級。
最大掃描范圍： 可達數毫米（Z軸）
最大樣品尺寸： 取決于載物臺配置，可定制大型載物臺。
儀器的軟件算法是性能的另一支柱。*的降噪算法、形式誤差去除、自動邊緣檢測和數據拼接功能，使得測量結果更能反映樣品的真實形貌。S neox的細節體現在其兼顧了宏觀定位的便捷性和微觀測量的精確性，滿足了從研發到生產的多種需求。