Zygo 光學輪廓儀：設計里的測量智慧
在微觀測量設備領域，合理的設計往往是性能發揮的基礎。Zygo 3D 光學輪廓儀 NewView™ 9000 以精心的設計，將測量精度與使用便捷性巧妙融合，成為眾多領域的可靠選擇。
從外觀設計來看，NewView™ 9000 采用一體化柜式結構，機身尺寸約為 850mm×700mm×1200mm，整體線條簡潔流暢。這種設計不僅能有效隔絕外界振動對測量的影響，還為內部光學系統提供了穩定的運行環境。機身外殼選用優質冷軋鋼板，表面經過靜電噴涂處理，呈現出細膩的啞光質感，既具備良好的抗刮擦性能，又能減少環境光線的反射干擾，讓設備在長期使用中保持整潔外觀。
設備的操作區域布局清晰合理，控制面板位于機身正面中部，包含顯示屏、操作按鈕和軌跡球，操作人員無需彎腰即可輕松操作。樣品裝卸區域設置在機身前部，采用抽屜式樣品臺設計，最大樣品尺寸可達 300mm×300mm，滿足多數工業樣品的測量需求。樣品臺兩側配備可調節夾具，能適應不同形狀和尺寸的樣品，夾具表面覆蓋橡膠墊層，避免夾傷樣品表面。
內部光學系統的設計同樣注重細節。光路通道采用密封式結構，有效防止灰塵進入影響成像質量，同時配備恒溫控制系統，將內部溫度波動控制在 ±0.1℃以內，減少溫度變化對光學元件的影響。光學鏡頭與樣品臺之間的相對位置經過精密校準，確保測量過程中光路始終保持穩定，為數據準確性提供保障。
在性能方面，NewView™ 9000 搭載了 Zygo 的 Mirau 干涉物鏡，結合白光干涉技術，能實現納米級別的縱向分辨率。其橫向分辨率根據鏡頭型號不同有所差異，搭配 5 倍物鏡時可達 1.2μm，搭配 100 倍物鏡時則能達到 0.1μm，可滿足不同精度要求的測量任務。設備的測量范圍也十分靈活，Z 軸最大測量范圍為 10mm，X、Y 軸視場范圍隨物鏡倍率變化，從 5 倍物鏡的 10.2mm×7.7mm 到 100 倍物鏡的 0.51mm×0.38mm 不等。
用材上，核心光學元件均選用高純度光學玻璃，經過精密研磨和鍍膜處理，確保光線透過率和成像質量。干涉物鏡的鏡筒采用鈦合金材質，這種材料具有較低的熱膨脹系數，能在溫度變化時保持結構穩定，減少因形變導致的測量誤差。樣品臺的導軌采用高精度滾珠絲杠，配合伺服電機驅動，移動平穩且定位精度高，重復定位誤差可控制在 1μm 以內。
操作方面，NewView™ 9000 配備了 ZygoMCM™操作軟件，界面直觀易懂。軟件支持自動對焦和自動測量功能，操作人員只需將樣品放置好，點擊 “測量" 按鈕，設備就能自動完成數據采集和分析。軟件內置多種測量模式，包括表面粗糙度分析、臺階高度測量、三維形貌重建等，滿足不同的測量需求。
無論是在電子制造、光學加工還是材料研究領域，NewView™ 9000 都能憑借其出色的設計和性能，為用戶提供穩定可靠的測量數據，成為微觀測量工作中的得力助手。
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