在現代工業生產和科學研究中,對微觀表面形貌的精準測量是保證產品質量和推動技術發展的重要環節。Zygo 3D 光學輪廓儀 NewView™ 9000 憑借其穩定的性能和廣泛的適用性,成為多個行業不可少的測量工具。
在電子半導體行業,芯片的質量直接關系到電子設備的性能。NewView™ 9000 的高分辨率特性使其能精準測量芯片表面的電路線條寬度、間距以及平整度。其橫向分辨率在搭配 100 倍物鏡時可達 0.1μm,能清晰捕捉到細微的電路缺陷,如斷線、短路或凸起等。對于芯片封裝過程中的焊盤高度、鍵合線輪廓等參數,設備的縱向分辨率可達 0.1nm,能為封裝質量控制提供可靠數據。同時,設備支持最大 300mm×300mm 的樣品測量,可滿足不同規格芯片的檢測需求,搭配自動定位功能,能實現批量芯片的高效檢測,大幅提升生產效率。
光學制造領域對元件表面質量要求,NewView™ 9000 在此領域發揮著重要作用。在鏡片生產中,它可用于測量鏡片的表面粗糙度、曲率半徑和平整度等關鍵參數。例如,對于激光鏡片,其表面粗糙度需控制在極低水平,NewView™ 9000 能準確測量出 Ra、Rz 等粗糙度參數,確保鏡片符合使用要求。在鏡頭模組組裝過程中,可通過測量鏡片之間的貼合間隙和相對傾斜角度,保證鏡頭的成像質量。設備的 Mirau 干涉物鏡和白光干涉技術,能對光滑的光學表面進行高精度測量,為光學元件的質量管控提供有力支持。
精密機械制造行業中,零部件的表面形貌對其耐磨性、密封性和配合精度有著重要影響。NewView™ 9000 可用于測量軸承、齒輪等關鍵零部件的表面粗糙度和微觀輪廓。例如,軸承滾子的表面粗糙度會影響其使用壽命,通過設備測量可確保其粗糙度在設計范圍內。對于模具表面,能測量其紋路深度和分布情況,保證沖壓或注塑產品的質量一致性。設備的 Z 軸最大測量范圍為 10mm,可應對具有一定高度差的機械零件表面測量,而樣品臺的高精度移動功能,能實現對零部件不同位置的精準檢測。
在材料科學研究領域,NewView™ 9000 為材料表面性能研究提供了有力工具。研究人員可利用它測量新材料表面的形貌特征,分析材料的磨損、腐蝕或涂層生長情況。例如,在研究金屬材料的腐蝕過程時,通過定期測量材料表面的形貌變化,能直觀了解腐蝕的速率和分布規律。對于涂層材料,可測量涂層的厚度、均勻性以及與基底的結合情況,為涂層工藝優化提供數據支持。設備的三維形貌重建功能,能清晰呈現材料表面的微觀結構,幫助研究人員深入理解材料性能與表面形貌之間的關系。
醫療器械行業對產品的精度和安全性要求嚴苛,NewView™ 9000 在該領域也有廣泛應用。在人工關節制造中,可測量關節表面的粗糙度和球形度,確保其與人體組織的相容性和運動靈活性。對于微創醫療器械,如導管、探針等,能測量其的形貌和尺寸,保證使用過程中的安全性和準確性。設備的非接觸式測量方式,不會對醫療器械表面造成損傷,適合對精密部件進行檢測。
無論是在工業生產的質量控制環節,還是在科學研究的前沿領域,Zygo NewView™ 9000 都能憑借其精準的測量能力和廣泛的適用性,為各行業提供可靠的測量數據,成為推動行業發展的有力助手。