1. 開機(jī)準(zhǔn)備：通電后預(yù)熱約 10?分鐘，使光學(xué)系統(tǒng)達(dá)到熱平衡，確保測(cè)量精度。

2. 樣品裝載：將樣品放置在 XY 平臺(tái)上，使用平臺(tái)的傾斜調(diào)平功能將樣品法線對(duì)準(zhǔn)光軸，必要時(shí)使用微調(diào)螺絲進(jìn)行細(xì)微校正。

3. 模式選擇：根據(jù)樣品的反射率或透明度，在軟件界面選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式；系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度和焦距。

4. 參數(shù)設(shè)置：在 SensoSCAN 或 SensoMAP 軟件中設(shè)定掃描范圍、分辨率、幀率等參數(shù)；若使用 AI 自動(dòng)路徑規(guī)劃，僅需標(biāo)記關(guān)鍵測(cè)量點(diǎn)，系統(tǒng)即可完成全表面三維重建。

5. 校準(zhǔn)與驗(yàn)證：每月使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片（如 NIST 參考平面）進(jìn)行垂直分辨率校驗(yàn)，確保 0.1?nm 級(jí)別的測(cè)量準(zhǔn)確性。

6. 數(shù)據(jù)處理：測(cè)量完成后，利用 SensoMAP 高級(jí)分析模塊計(jì)算 ISO?25178/ISO?4287 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度參數(shù)（Sa、Sq、Sz 等），并可直接生成符合行業(yè)規(guī)范的報(bào)告。

7. 日常維護(hù)：保持光學(xué)窗口清潔，避免強(qiáng)酸堿或粉塵侵入；定期檢查光源壽命（LED 光源可使用約 50?000?h）并在需要時(shí)更換。

通過上述步驟，用戶可以在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)快速、可靠的三維表面測(cè)量，充分發(fā)揮 S?neox 多模式技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。