SensofarS lynx2：光學輪廓儀平臺簡介
Sensofar S lynx系列是設計用于工業與研發環境的三維光學輪廓儀平臺。該平臺將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）等光學測量技術集成于一體，旨在提供一種非接觸式的表面三維形貌測量方案。其設計思路側重于測量的效率和操作的流暢性，適用于生產質量控制、實驗室研發等場合。S lynx的核心在于其多技術引擎。平臺允許在同一系統中使用共聚焦技術和白光干涉VSI技術。共聚焦技術有助于測量具有陡峭側壁或散射性強的表面，而VSI技術則適用于測量平坦或輕微起伏的光滑表面。用戶可根據樣本特性在軟件中切換測量模式。儀器采用一體式結構，光學頭與樣品臺集成在穩固的機座內。其主要用途包括半導體、微電子元件、材料涂層、精密光學等產品的三維形貌、粗糙度、臺階高度等參數的量化分析。
S lynx的性能體現在其測量的重復性和效率上。儀器外殼主要采用金屬材料，為內部核心光學部件提供保護并抑制外部振動的影響。樣品臺通常為金屬材質，保證承載樣本時的穩定性。光學路徑經過密封設計，以減少空氣流動和灰塵的影響。自動化的部件如物鏡轉盤和濾光輪，其結構設計考慮了長期使用的耐用性。
樣品臺：電動平臺，行程可達 200 x 200 mm
操作S lynx時，首先將樣本平穩放置于樣品臺。啟動SensoMAP軟件，軟件界面會引導用戶進行初始化。通過實時圖像選擇觀察區域，并根據樣本表面特性選擇測量模式和物鏡。設定垂直掃描范圍后，可啟動自動測量序列。儀器將完成掃描并重建三維形貌數據。后續可利用軟件豐富的分析工具進行參數計算和結果導出。Sensofar S lynx平臺通過集成多種光學測量技術，旨在滿足不同的三維表面測量需求。其一體式結構和自動化設計，為使用者提供了從測量到分析的工作流程。
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