澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

產(chǎn)品簡介

澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空
臺式掃描電子顯微鏡的長期性能穩(wěn)定，依賴于定期維護。ZEM20的維護重點集中在真空系統(tǒng)、探測器及環(huán)境控制

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：51

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

臺式電鏡&臺階儀&原位分析

澤攸澤攸臺式掃描電鏡澤攸臺階儀澤攸探針臺及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

ZEM20 采用 6061?T6 鋁合金真空腔，表面經(jīng) 35?µm 硬質(zhì)陽極氧化處理，放氣率僅 4.5?×?10???Pa·L·s?1·cm?2，能夠在 3?×?10???Pa 真空下穩(wěn)定工作。抽氣系統(tǒng)由 30?L/min 隔膜泵 + 70?L/s 渦輪分子泵組成，抽真空循環(huán)時間約 3?min。

電子槍：CeB? 單晶燈絲，壽命約 1500?h，燈絲壽命監(jiān)控實時顯示。
磁透鏡：三級磁透鏡（聚光、物鏡、掃描），采用 1J79 坡莫合金磁屏蔽筒（μr?>?40?000），像散校正通過 8?級掃描線圈實現(xiàn)。
探測器：二次電子（SE）與背散射電子（BSE）雙通道，可同步顯示并拍攝混合圖像。
樣品臺：5?軸中心馬達驅(qū)動，X/Y 行程 ≥?110?mm，Z 行程 1.5–40?mm，旋轉(zhuǎn) 360°，傾斜 -5°~70°，配備自動對中、自動對焦、自動亮度對比度（ABCC）功能。

核心參數(shù)

項目	規(guī)格
真空腔材質(zhì)	6061?T6 鋁合金（硬質(zhì)陽極氧化）
極限真空	3?×?10???Pa
抽氣系統(tǒng)	隔膜泵 30?L/min + 渦輪泵 70?L/s
電子槍	CeB? 單晶燈絲
加速電壓	0.5?–?30?kV（0.01?V 步進）
工作距離	0.1?–?50?mm
探測器	SE?+?BSE
樣品臺行程	X/Y?≥?110?mm，Z?1.5?40?mm