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Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程作S neox需遵循標準化流程以確保檢測精度。首先清潔樣品臺并固定樣品,通過觸控屏啟動預覽功能框選檢測區域。
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Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程
操作S neox需遵循標準化流程以確保檢測精度。首先清潔樣品臺并固定樣品,通過觸控屏啟動預覽功能框選檢測區域。軟件自動匹配物鏡倍率并調整鏡頭位置,用戶可選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式。掃描參數如分辨率、速度等可手動調整或調用預設模板,支持自定義掃描路徑與區域分割。檢測完成后,軟件生成3D輪廓圖像并計算表面參數,如PV、Rq、Sa等,支持PDF、Excel、STL等格式導出。批量檢測可聯動自動化上下料模塊,每小時處理80-120個樣品,提升檢測效率。軟件還提供數據追溯與生產批次關聯存儲功能,支持ISO標準分析模塊,自動計算參數并生成檢測報告。在半導體金線高度檢測中,設備可同步獲取高度、直徑與傾斜角,重復性誤≤0.3%;在光學鏡片面型誤差分析中,白光干涉模式可精準測量曲率半徑與PV值,偏差區域自動標記并生成分析報告。

軟件自動匹配物鏡倍率并調整鏡頭位置,用戶可選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式。掃描參數如分辨率、速度等可手動調整或調用預設模板。檢測完成后,軟件生成3D輪廓圖像并計算表面參數,支持PDF、Excel、STL等格式導出。批量檢測可聯動自動化上下料模塊,每小時處理80-120個樣品,提升檢測效率。Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程