奧林巴斯顯微鏡貼合需求的結構設計
奧林巴斯OLS5100采用冷軋鋼板外殼,經過防靜電噴涂處理,既能抵抗實驗室常見化學試劑的腐蝕,又能減少靜電對電子元件的影響。設備集成激光共聚焦與光學成像雙模塊,可自由切換2D成像與3D掃描模式,側面預留的擴展接口還支持拉曼光譜儀、原子力顯微鏡等多技術聯用,后期升級更靈活。
電動樣品臺支持 X/Y/Z 軸自動對焦與掃描,定位精度達 0.1μm,能實現樣品的全自動三維掃描。針對不同大小的樣品,還可選擇 100×100mm 手動或電動樣品臺,最大甚至能適配 300×300mm 的大面積樣品檢測需求。
該設備的 Lext 專用物鏡能減少外周區域的測量偏差,解決了傳統 lenses 在邊緣區域難以準確測量的問題。在高度測量方面,顯示分辨率達 0.5nm,動態范圍為 16 bits,不同物鏡下的重復性能保持較好水平,20× 物鏡下重復精度可達 0.03μm,100× 物鏡下則能達到 0.012μm。
寬度測量的顯示分辨率為 1nm,20× 物鏡下重復精度 0.05μm,測量 accuracy 控制在測量值的 ±1.5% 范圍內。即使進行圖像拼接,20× 及以上物鏡的拼接 accuracy 也能達到 1.0 + l/100 μm(l 為拼接長度),滿足大面積樣品的精準分析需求。
不同型號各有側重:基礎款 OLS5100-SMF 適合常規材料分析,配備 100×100mm 電動樣品臺,最大樣品高度 40mm;針對特殊需求的 OLS5100-LAF,樣品高度上限提升至 210mm,機身重量約 50kg,結構更穩固。
設備啟動:打開控制箱電源,等待系統自檢完成,通常需要 2-3 分鐘,自檢通過后觸控屏將顯示操作界面。
樣品調整:根據樣品尺寸選擇合適的樣品臺,將樣品固定后,通過手動旋鈕粗略調整樣品位置至視野中心。
物鏡選擇:點擊界面上的物鏡切換按鈕,系統會自動匹配對應的激光參數,新手可借助智能物鏡選擇助手完成操作。
掃描設置:選擇掃描范圍與分辨率,大面積樣品可啟用拼接功能,設置拼接重疊率為 10%-20% 以保證拼接質量。
結果分析:掃描完成后,在分析模塊選擇所需參數,如表面粗糙度 Ra、Rz 等,系統自動生成分析報告。
在涂層與鍍層行業,某衛浴企業用 OLS5100 檢測鍍鉻層厚度分布,通過臺階高度測量實現非破壞性檢測,確保產品耐腐蝕性能。軟質高分子材料檢測中,某輪胎企業借助 5× 物鏡快速定位橡膠磨損區域,再用 100× 物鏡觀察微觀損傷,分析磨損機制以優化配方。
MEMS 器件檢測時,50×Lext 物鏡能準確捕捉凹槽、臺階等結構,某微電子企業用其測量微傳感器懸臂梁高度,為性能校準提供數據支撐。生物材料研究中,搭配 532nm 綠色激光可觀察膠原蛋白支架降解過程的結構變化,助力組織工程研究。
奧林巴斯顯微鏡貼合需求的結構設計