Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀的核心優(yōu)勢在于技術(shù)融合，將共聚焦顯微、白光干涉與多焦面疊加三大技術(shù)集成于同一平臺。這種設(shè)計無需更換設(shè)備或模塊，就能應(yīng)對從超光滑到粗糙的各類表面測量需求。機身采用航空級鋁合金框架，搭配低膨脹玻璃陶瓷光路基座，即便環(huán)境溫度有微小波動，也能保持測量穩(wěn)定性。
傳感器頭內(nèi)置無運動部件的 FLCOS 微顯示掃描引擎，通過鐵電液晶技術(shù)實現(xiàn)高速光路切換，壽命可超過 20000 小時，功耗卻低于 30W。鏡頭部分配備可容納六個物鏡的電動鼻輪，能自動切換不同倍率鏡頭并完成焦平面校準，搭配環(huán)形 LED 光源，可提供均勻照明，增強信號采集效果。
二、性能與用材：穩(wěn)定耐用的支撐
性能方面，共聚焦模式下橫向分辨率可達 0.10μm，白光干涉模式則能實現(xiàn) 0.1nm 量級的縱向分辨率，而多焦面疊加技術(shù)可測量斜率達 86° 的陡峭表面。500 萬像素 CMOS 相機的數(shù)據(jù)傳輸速率達 180fps，單次掃描時間可縮短至 3 秒，適合高效檢測場景。
用材上，核心光學(xué)元件采用高透光率材料，配合多層鍍膜減少光線損耗；電子元件選用可靠品牌，降低長期使用的故障風(fēng)險。設(shè)備防護等級達 IP54，能適應(yīng)實驗室與車間等不同環(huán)境，機身尺寸控制在 600×500×750mm，兼顧穩(wěn)定性與空間適配性。
三、型號分類與場景適配
S neox 系列包含基礎(chǔ)版、進階版與定制版等多款型號。基礎(chǔ)版 S neox 3 配備 20× 共聚焦物鏡，檢測范圍 5μm-3mm，適用于塑料零件粗糙度篩查等常規(guī)場景；進階版 S neox 5 搭載 150× 高數(shù)值孔徑物鏡與五軸旋轉(zhuǎn)臺，支持多區(qū)域連續(xù)掃描，適合半導(dǎo)體金線檢測、光學(xué)鏡片面型分析等精密需求；定制版可拓展大尺寸承載平臺或無菌操作艙，適配醫(yī)療植入體檢測、航空葉片形貌分析等特殊場景，最大可承載 15kg 樣品。
另有 S neox Grand Format 型號，提供 600×600mm 的移動范圍，經(jīng)認證可用于半導(dǎo)體、顯示器等行業(yè)的大型面板測量。
四、操作與軟件：便捷高效的體驗
操作流程十分簡便：開機預(yù)熱 10 分鐘后，系統(tǒng)自動完成光路校準；將樣品放置在 XY 平臺，通過電動傾斜臺 3 秒內(nèi)即可自動調(diào)平。在 SensoSCAN 軟件中，“自動 3D 功能" 能自行判斷照明與測量范圍，點擊啟動即可完成檢測，新手也能快速上手。
軟件內(nèi)置 30 余種行業(yè)模板，支持 ISO 標準參數(shù)計算與批量報告導(dǎo)出，還可創(chuàng)建自定義分析模板，應(yīng)用于重復(fù)檢測場景。搭配自動基準識別功能，基于圖案匹配算法實現(xiàn)全自動化操作，無需人工干預(yù)，滿足 24 小時質(zhì)檢需求。
從科研實驗室到工業(yè)生產(chǎn)線，S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀憑借技術(shù)融合與靈活設(shè)計，成為多領(lǐng)域的實用測量工具。Sensofar共聚焦三維輪廓儀技術(shù)融合的巧思
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