
Sensofar S neox共聚焦白光干涉光學輪廓儀采用模塊化設計,核心測量單元可與不同功能模塊組合,適配多樣場景。機身尺寸可根據需求調整,基礎版的緊湊體積適合實驗室桌面布局,定制版的大尺寸平臺則能承載300×300mm的樣品,最大高度可達350mm。光學系統支持共聚焦、白光干涉、多焦面疊加等多種技術切換,配合可更換的物鏡組,能應對從納米級微觀結構到毫米級宏觀形貌的測量需求。設備還可加裝環形 LED 光源、高溫艙、無菌艙等配件,進一步拓展應用邊界。
在半導體領域,S neox 能滿足晶圓、芯片等精密器件的檢測需求。進階版 S neox 5 搭載高分辨率光學系統,可測量薄膜厚度、刻蝕坑形貌與光刻對準誤差,橫向分辨率 0.10μm 的共聚焦模式能清晰呈現金線連接細節。
S neox Grand Format 型號專為半導體面板設計,600×600mm 的移動范圍可覆蓋大型面板的全表面檢測,且符合 SEMI 標準,檢測報告能直接用于行業質控。軟件內置的半導體專用模板,可自動計算關鍵尺寸參數,配合自動化程序模塊實現 24 小時連續檢測。
醫療領域對檢測的安全性與準確性要求較高,S neox 的非接觸式測量能避免損傷敏感樣品。在人工角膜檢測中,它可在濕潤狀態下測量表面紋理,避免傳統接觸式測量導致的 0.5μm 形變誤差。定制版的無菌操作艙能滿足植入體檢測的潔凈需求,保障樣品不受污染。
生物材料研究中,S neox 可測量 3D 打印鈦合金支架的孔隙結構、組織工程支架的孔徑分布。某企業曾用其發現孔徑誤差與成骨細胞黏附率的關聯,據此優化產品參數,提升細胞增殖率 30%。軟件的高分辨率成像與參數分析功能,為生物材料研發提供了有力支撐。
汽車行業的生產質檢中,S neox 能評估發動機缸蓋、氣門座的表面質量,基礎版即可完成 Ra=0.8μm 的精密模具測量,即便在車間振動環境下,實時環境補償算法也能保證數據穩定。進階版的五軸旋轉臺可實現汽車零部件的全方形貌檢測,提升質檢覆蓋面。
航空領域中,定制版 S neox 可加裝高溫原位測量艙(最高 800℃),實時追蹤發動機葉片氧化層的生長過程。其高斜率測量能力(可達 86°)能應對葉片復雜曲面的形貌分析,為材料性能研究提供數據支持。設備的耐用結構與長壽命設計,也適應航空領域的嚴苛使用需求。
光學元件生產中,S neox 可檢測透鏡表面粗糙度、鍍膜均勻性與 AR 薄膜厚度,白光干涉模式的亞納米級縱向分辨率能精準捕捉面型誤差。電子器件領域,它能分析 MEMS 器件的微齒輪、懸臂梁三維形貌,確保其尺寸公差符合設計要求。
從研發階段的材料特性分析,到生產環節的批量質檢,再到售后的失效分析,S neox 共聚焦白光干涉光學輪廓儀憑借多場景適配能力,成為多行業的實用工具。Sensofar白光干涉輪廓儀多場景而生靈活架構