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                光學元件加工新助力ZYGO激光干涉光學輪廓儀光學元件的表面粗糙度與面形精度,直接決定成像質量。某光學元件加工廠技術總監分享了ZYGO Nexview™ NX2光學輪廓儀如何優化加工流程。
光學元件加工新助力ZYGO激光干涉光學輪廓儀光學元件的表面粗糙度與面形精度,直接決定成像質量。某光學元件加工廠技術總監分享了ZYGO Nexview™ NX2光學輪廓儀如何優化加工流程。
該廠主要生產紅外光學棱鏡,材料為鍺晶體(硬度低、易損傷)。過去使用接觸式輪廓儀,檢測時探針壓迫導致樣品表面產生微裂紋,廢品率約5%。引入NX2后,非接觸式測量解決了這一問題,同時掃描速度提升3倍——單塊棱鏡(50mm×50mm)的面形檢測從10分鐘縮短至3分鐘。