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產品簡介
sensofar光學輪廓儀在光學元件檢測中的實踐在光學元件制造領域,表面形貌的一致性直接影響光學性能與產品可靠性。
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sensofar光學輪廓儀在光學元件檢測中的實踐

在光學元件制造領域,表面形貌的一致性直接影響光學性能與產品可靠性。Sensofar S neox作為非接觸式光學輪廓儀的代表,通過共聚焦與白光干涉技術的深度融合,為透鏡、棱鏡、濾光片等光學元件的形貌檢測提供了高效可靠的解決方案。其多模式測量平臺無需硬件切換即可實現共聚焦、白光干涉及相位差干涉模式的智能匹配,適配從納米級表面粗糙度到毫米級結構的三維形貌分析需求。
以球面透鏡檢測為例,S neox的白光干涉模式可精準測量透鏡表面的面形精度與中心厚度。通過光譜擬合技術與多層膜模型,設備能夠在50nm-5μm厚度范圍內實現亞納米級測量精度,有效評估透鏡表面的波紋度、粗糙度及面形偏差。共聚焦模式則適用于透鏡邊緣輪廓的捕捉,通過多焦面疊加技術實現斜率超70°的曲面完整重建,確保透鏡邊緣結構的完整性分析。例如在某光學企業的實際檢測中,設備成功將透鏡面形精度偏差控制在0.1μm以內,有效提升了光學系統的成像質量。
在棱鏡制造中,相位差干涉模式可有效分離上下表面信號,實現雙曲面形貌的無損測量。以分光棱鏡為例,設備能定量評估棱鏡表面的角度偏差與表面粗糙度,輔助優化棱鏡切割與拋光工藝參數。多焦面疊加技術則適用于復雜棱鏡結構的三維形貌重建,幫助研發團隊優化棱鏡設計參數,提升光學系統的分光性能。
濾光片作為光學系統中的關鍵元件,其表面形貌直接影響光譜透過率與截止性能。S neox支持ISO 12085標準粗糙度計算,可輸出Ra、Rz等參數的量化評估結果。在窄帶濾光片檢測中,設備可捕捉濾光片表面的微觀缺陷與膜層厚度不均勻性,確保濾光片的光譜性能一致性。例如在某濾光片生產線上,設備通過批量數據處理功能,實現了膜層厚度偏差的實時監控與工藝參數動態調整,有效提升了產品良率。
設備操作流程注重光學檢測的特殊需求。SensoSCAN軟件界面采用模塊化設計,支持一鍵式測量模式切換與自動化參數配置。用戶可通過簡單的參數設置完成從樣品定位、掃描參數配置到數據處理的完整流程。軟件內置的光學元件專用分析模塊,支持面形偏差、表面粗糙度及膜層厚度的自動計算與可視化展示,有效提升檢測效率與數據可追溯性。
在數據處理方面,S neox提供多維度的形貌分析工具。用戶可結合三維形貌圖、截面分析、體積測量等功能,全面評估光學元件的表面質量特性。設備支持批量數據處理與標準化報告生成,有效提升光學檢測的自動化水平與數據可重復性。例如在某研究機構的案例中,設備通過三維形貌圖直觀展示了透鏡表面的微觀缺陷分布,為研發團隊優化拋光工藝提供了直觀依據。
環境適應性方面,設備采用模塊化機身設計與IP54防護等級光學系統,可適應無塵室、實驗室等多樣化環境需求。低膨脹玻璃陶瓷基座與鐵電液晶掃描引擎確保設備在溫度波動<0.1°C的環境中保持測量穩定性。其振動補償算法可在超100nm環境振動中穩定工作,滿足光學元件檢測對高精度測量的嚴苛環境要求。
通過技術融合與應用創新,Sensofar S neox在光學元件檢測中展現出廣泛的應用潛力。其多模式測量能力與用戶友好的操作界面,為光學制造企業提供了從微觀形貌分析到宏觀性能評估的完整解決方案,有效支持光學元件研發的效率提升與質量優化,成為光學元件檢測領域不可缺測量工具。在實際應用中,設備通過精準的形貌數據與高效的操作流程,為光學元件的性能優化與工藝改進提供了科學依據,推動了光學制造技術的進步。
sensofar光學輪廓儀在光學元件檢測中的實踐