在精密檢測設備領域，用材品質與性能穩定性直接決定檢測數據的可靠性與設備的使用壽命。ZYGO 3D 光學輪廓儀 ZeGage Pro 從核心部件到外部結構，均選用適配高精度檢測需求的優質材料，搭配成熟的光學與機械技術，為跨領域檢測提供穩定、精準的支持，成為科研機構與企業實驗室的可靠選擇。
從用材細節來看，ZeGage Pro 的核心光學部件采用高純度熔融石英玻璃。這種玻璃具備優異的透光性，在可見光與近紅外波段的透光率超過 90%，能減少光線在傳播過程中的損耗，確保檢測時光學信號的準確傳遞；同時，其熱膨脹系數低，在環境溫度變化時不易發生形變，避免因光學元件變形影響檢測精度。設備的鏡頭組采用多層增透膜技術，膜層材質為氧化硅與氟化鎂的復合涂層，可有效降低光線反射，進一步提升光學系統的成像質量，讓樣品表面的微小輪廓細節清晰呈現。
機械結構方面，ZeGage Pro 的檢測平臺底座選用鑄鐵材質，鑄鐵具備良好的剛性與減震性能，能減少外部環境振動對檢測平臺的影響，確保掃描過程中平臺的穩定性；平臺臺面為 304 不銹鋼，表面經過精密研磨處理，平整度誤差控制在微米級別，可穩定承載不同重量的樣品，同時不銹鋼材質耐磨損、抗腐蝕，長期使用后仍能保持較好的表面狀態，減少臺面磨損對檢測結果的干擾。設備的平移臺驅動部件采用精密滾珠絲杠，絲杠材質為高強度合金鋼，經過熱處理強化，具備較高的硬度與耐磨性，配合伺服電機驅動，能實現微米級別的移動精度，確保檢測位置的準確性。
性能穩定性是 ZeGage Pro 的突出優勢。設備搭載閉環反饋控制系統，在掃描過程中，實時監測平移臺的位置與光學信號的強度，若出現微小偏差，系統會自動調整參數，確保檢測過程的穩定性。例如在長時間連續檢測（如 8 小時批量檢測電子元件）時，設備的溫度漂移量較小，垂直檢測精度的變化幅度控制在納米級別，保證同批次樣品檢測數據的一致性。此外，設備具備環境適應性，在溫度 15℃-30℃、濕度 30%-70% 的常規實驗室環境下，無需額外恒溫恒濕設備，即可正常工作，減少對使用環境的限制。
在跨領域應用中，ZeGage Pro 的表現尤為全面。在光學元件制造領域，可用于檢測透鏡的面型誤差與曲率半徑。操作時，將透鏡固定在專用光學夾具上，確保透鏡光軸與檢測系統軸線對齊；打開 MXP 軟件，選擇 “光學元件檢測" 模塊，設置掃描范圍為透鏡有效口徑（如 20mm）、掃描分辨率為 0.5μm；啟動掃描后，設備會自動采集透鏡表面的光學數據，軟件通過算法計算出面型誤差 PV 值與曲率半徑，生成 3D 面型圖，若誤差超出設定范圍（如 PV 值＞500nm），軟件會自動標記偏差區域，幫助操作人員調整加工工藝。
在汽車零部件檢測領域，ZeGage Pro 可用于檢測發動機氣門的表面粗糙度與磨損程度。將氣門固定在旋轉式夾具上（確保檢測過程中氣門勻速轉動）；在軟件中設置 “圓柱面掃描" 模式，掃描路徑覆蓋氣門密封面與桿部；檢測完成后，軟件生成氣門表面的粗糙度參數（如 Ra、Rz）與磨損深度數據，若密封面出現磨損深度超過 10μm 的區域，會自動生成磨損分析報告，為氣門的質量評估與更換提供依據。
ZYGO ZeGage Pro 用材與性能相關參數表：
無論是光學元件的高精度面型檢測，還是汽車零部件的表面質量評估，ZYGO ZeGage Pro 都能憑借優質的用材與穩定的性能，提供準確、可靠的檢測數據，幫助用戶把控產品質量，推動研發與生產工作的高效開展。
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