ZYGO ZeGage Pro：輔助適配與便捷操作
ZYGO 3D 光學輪廓儀 ZeGage Pro 的高效檢測能力，不僅依賴于核心硬件與軟件的優質配置，其豐富的輔助設備適配選項與人性化的操作設計，更是大幅降低了檢測門檻，能輕松應對柔性材料、微小零件等特殊樣品的檢測需求，同時讓不同操作經驗的用戶都能快速上手，提升整體檢測效率。
在輔助設備適配方面，ZeGage Pro 提供多種專用夾具與拓展模塊，覆蓋不同類型樣品的檢測需求。針對柔性樣品（如薄膜、紡織品），可搭配真空吸附夾具，通過負壓吸附將樣品平整固定在檢測平臺上，避免樣品褶皺影響檢測結果 —— 例如檢測柔性電子薄膜的表面粗糙度時，真空吸附夾具能讓薄膜保持緊繃狀態，確保掃描過程中樣品位置穩定；對于微小零件（如 MEMS 器件、微型軸承），則可使用顯微定位夾具，該夾具配備精密調節旋鈕，能將樣品精準定位至檢測鏡頭正下方，最小定位精度可達 10 微米，滿足微小樣品的精準檢測需求。
此外，ZeGage Pro 還支持與自動化上下料模塊聯動，適配批量檢測場景。在電子元件生產車間，自動化上下料模塊可通過機械臂將待檢測元件依次送至檢測平臺，檢測完成后自動將元件分類至合格區與待檢區，整個過程無需人工干預，大幅提升批量檢測效率。同時，設備可搭配環境控制艙，實現對檢測環境溫度、濕度的精準調控，當檢測對環境敏感的樣品（如光學晶體、生物材料）時，環境控制艙能將溫度波動控制在 ±0.5℃，濕度波動控制在 ±2%，避免環境因素干擾檢測數據。
操作便捷性是 ZeGage Pro 的顯著特點。設備配備 10 英寸觸控顯示屏，常用檢測功能（如參數設置、掃描啟動、報告導出）可通過觸控直接操作，界面圖標清晰易懂，新手用戶經過簡單培訓即可獨立完成檢測。例如啟動常規檢測時，只需在觸控屏上點擊 “快速檢測" 圖標，選擇對應樣品類型（如 “光學透鏡"“金屬零件"），系統會自動加載預設參數，點擊 “開始" 即可啟動掃描，無需手動調整復雜參數。
配套的 MXP 軟件還具備智能輔助功能。軟件內置 “檢測向導" 模塊，針對不同檢測場景（如粗糙度檢測、面型分析）提供 step-by-step 操作指引，例如檢測半導體芯片金線高度時，向導會提示 “固定芯片→調整鏡頭焦距→設置掃描區域→啟動掃描" 等步驟，并在關鍵環節彈出注意事項（如 “確保金線區域無遮擋"），降低操作失誤概率。同時，軟件支持檢測參數保存與調用，用戶可將常用的檢測參數（如掃描分辨率、分析標準）保存為模板，下次檢測同類型樣品時直接調用，減少重復設置時間。
在新興領域應用中，ZeGage Pro 在柔性電子研發領域的表現尤為亮眼。以柔性顯示屏薄膜電路檢測為例，操作流程如下：第一步，將柔性薄膜電路樣品放置在真空吸附夾具上，啟動負壓吸附功能，確保薄膜平整無褶皺；第二步，在 MXP 軟件中調用 “柔性電子檢測" 模板，設置掃描范圍為電路關鍵區域（如電極連接處，尺寸 2mm×2mm）、掃描分辨率 0.2μm；第三步，啟動掃描，設備通過光學系統捕捉電路表面的三維輪廓，軟件實時生成 3D 圖像；第四步，掃描完成后，軟件自動分析電路電極的高度差（判斷是否存在虛焊）、表面粗糙度（評估導電性能），并生成檢測報告，若發現電度差超過 5μm（可能導致接觸不良），軟件會自動標記該區域，幫助研發人員優化薄膜電路制備工藝。
在生物醫學材料領域，ZeGage Pro 可用于人工關節表面紋理檢測。將人工關節樣品固定在旋轉式夾具上，設置 “環形掃描" 模式，掃描路徑覆蓋關節摩擦面（周長 50mm）；檢測過程中，軟件分析摩擦面的紋理深度、分布密度等參數，評估關節表面的耐磨性與生物相容性；檢測完成后，生成的 3D 輪廓圖可直觀展示紋理結構，為人工關節的設計優化提供數據支持。
ZYGO ZeGage Pro 輔助設備與操作相關參數表：
無論是柔性電子、生物醫學等新興領域的創新檢測需求，還是批量生產中的高效質量控制，ZYGO ZeGage Pro 都能通過靈活的輔助設備適配與便捷的操作設計，提供穩定、高效的檢測解決方案，幫助用戶輕松應對多樣化檢測挑戰。
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