ZYGO光學輪廓儀：多原理助力精準測量
Nexview™ NX2 光學輪廓儀依托多種成熟的光學測量技術，為不同特性樣品的檢測提供支持。其中，白光干涉技術是核心技術之一，該技術通過將白光光源分為參考光與測量光，兩束光分別經參考鏡與樣品表面反射后重新匯合，產生干涉條紋，系統通過垂直掃描采集不同位置的干涉信號，再經算法處理重建樣品的三維形貌，縱向分辨率可達 0.05nm，適用于超光滑表面如光學鏡片、半導體晶圓的測量。
共聚焦技術則針對粗糙表面樣品設計，當光線通過針孔光源照射到樣品表面時，只有聚焦在樣品焦平面上的光線能通過接收針孔被傳感器捕捉，非焦平面光線被過濾，從而清晰呈現樣品表面的微觀紋理，搭配軟件中的 “紋理分析" 功能，可快速獲取表面粗糙度、紋理方向等參數，適用于模具、機械零件等粗糙表面的檢測。動態測量技術通過實時監測樣品的微小振動，自動調整測量參數補償振動影響，即使在生產車間等存在輕微振動的環境中，也能保證測量數據的穩定性，滿足在線檢測需求。
核心光學部件的選材與工藝同樣注重性能保障，光學鏡頭采用低色散光學玻璃，經過多道研磨與拋光工藝處理，減少光線在傳播過程中的色散與畸變；鏡頭表面鍍有多層增透膜，透光率提升至 95% 以上，降低光線反射損失，確保成像質量。圖像傳感器選用高靈敏度 CMOS 芯片，像素尺寸達 3.45μm，在 150 幀 / 秒的高速采集速度下，仍能保持 0.1μm 的橫向分辨率，可清晰捕捉樣品表面的微小缺陷如劃痕、凹陷等。此外，設備還搭載了環境自適應系統，實時監測溫度、濕度與氣壓變化，當環境參數發生波動時，自動調整光學系統參數，確保測量結果不受環境影響，在溫度波動 ±1℃、濕度 30%-70% 的環境中仍能穩定工作。
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