ZYGO光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠的測量基礎(chǔ)

產(chǎn)品簡介

ZYGO光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠的測量基礎(chǔ)
光學(xué)輪廓儀依托多種成熟的光學(xué)測量技術(shù)，為不同特性樣品的檢測提供支持。

產(chǎn)品型號：ZYGO Nexview NX2

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：99

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠的測量基礎(chǔ)

Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀采用臺式一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計，機(jī)身尺寸約 620mm×580mm×750mm，重量約 80kg，無需專用的大型安裝場地，普通實驗室操作臺即可放置，節(jié)省空間資源。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度鋁合金材料，經(jīng)過陽極氧化處理，表面形成堅硬的氧化膜，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長期使用后仍能保持外觀整潔，同時鋁合金材質(zhì)的散熱性能較好，有助于設(shè)備內(nèi)部元件保持穩(wěn)定工作溫度。

核心光學(xué)系統(tǒng)密封在獨立的防塵防潮艙內(nèi)，艙體采用雙層密封結(jié)構(gòu)，內(nèi)層為橡膠密封膠條，外層為金屬蓋板，有效防止灰塵、水汽進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)部，避免光學(xué)元件污染影響測量精度；艙體側(cè)面設(shè)有觀察窗，采用高透光率光學(xué)玻璃，方便用戶觀察測量過程中樣品的狀態(tài)。鏡頭接口采用標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計，兼容 10 種常用倍率的物鏡，從 2.5x 到 100x 不等，更換物鏡時只需輕輕旋轉(zhuǎn)鏡頭即可完成裝卸，軟件會自動識別物鏡型號并匹配相應(yīng)的測量參數(shù)，無需手動校準(zhǔn)，減少操作時間。

樣品臺是設(shè)備的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，采用精密滾珠絲杠傳動，導(dǎo)軌表面覆蓋聚四氟乙烯耐磨涂層，減少摩擦損耗，延長使用壽命，同時保證移動的平穩(wěn)性。樣品臺 X 軸與 Y 軸的移動范圍均為 120mm，Z 軸移動范圍為 60mm，搭配高精度光柵尺，移動精度可達(dá) 0.02μm，能精準(zhǔn)定位測量區(qū)域。以下為 Nexview™ NX2 核心參數(shù)表：

參數(shù)類別	具體參數(shù)
測量技術(shù)	白光干涉、共聚焦、動態(tài)測量
橫向分辨率	0.1μm（100x 物鏡）
縱向分辨率	0.05nm（白光干涉模式）
掃描范圍	X/Y 軸：120mm×120mm，Z 軸：60mm
樣品臺承重	20kg
樣品臺移動精度	0.02μm（XYZ 軸）
傳感器幀率	150 幀 / 秒

軟件方面，內(nèi)置 ISO 4287、GB/T 1031 等國內(nèi)外通用的測量標(biāo)準(zhǔn)算法，確保測量數(shù)據(jù)符合行業(yè)規(guī)范；支持與 CAD、MATLAB 等軟件的數(shù)據(jù)互通，方便用戶進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析與建模；同時提供自定義算法接口，專業(yè)用戶可根據(jù)需求開發(fā)專屬的數(shù)據(jù)分析算法，拓展設(shè)備的應(yīng)用范圍。

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