ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用
通過在精密機(jī)械領(lǐng)域的應(yīng)用，ZeGage Pro 以非接觸測量優(yōu)勢，精準(zhǔn)把控零件表面質(zhì)量、尺寸精度與缺陷狀態(tài)，為機(jī)械制造的精度提升提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

產(chǎn)品型號(hào)：ZeGage Pro

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精密機(jī)械領(lǐng)域應(yīng)用

一、機(jī)械零件表面粗糙度測量

（一）應(yīng)用場景與核心需求

精密機(jī)械零件（如軸承內(nèi)外圈、齒輪齒面）的表面粗糙度直接影響摩擦系數(shù)與使用壽命，需測量 Ra（算術(shù)平均粗糙度）、Rz（十點(diǎn)平均粗糙度），常見要求 Ra≤0.8μm、Rz≤5μm，避免粗糙度過高導(dǎo)致零件磨損加快。

（二）設(shè)備配置與操作

硬件選擇：根據(jù)零件尺寸選物鏡，小尺寸零件（如微型齒輪）用 20X 物鏡（水平分辨率 0.8μm），大尺寸零件（如軸承外圈）用 5X 物鏡（覆蓋更大測量區(qū)域）；

參數(shù)設(shè)置：掃描范圍 2-10mm×2-10mm（匹配零件待測區(qū)域），數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 500-800 點(diǎn) /mm2（平衡測量精度與速度），無需開啟特殊功能（金屬零件反光較弱，常規(guī)成像即可）；

測量流程：將零件固定在樣品臺(tái)（用磁性夾具固定金屬零件，避免移位），手動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)使待測區(qū)域?qū)?zhǔn)物鏡，自動(dòng)對(duì)焦后啟動(dòng)掃描（約 20-40 秒 / 次），軟件生成 3D 表面形貌圖。

（三）數(shù)據(jù)應(yīng)用

軟件自動(dòng)計(jì)算 Ra、Rz 值，若 Ra=1.0μm 超標(biāo)準(zhǔn)（≤0.8μm），反饋至零件加工工藝（如調(diào)整銑削轉(zhuǎn)速、更換砂輪粒度）；

生成粗糙度分布曲線，直觀顯示零件表面高低起伏狀態(tài)，判斷是否存在局部粗糙度過高區(qū)域（如齒輪齒根位置），指導(dǎo)工藝優(yōu)化。

二、機(jī)械臺(tái)階高度測量

（一）應(yīng)用場景與核心需求

精密模具、芯片散熱片等零件常存在臺(tái)階結(jié)構(gòu)，臺(tái)階高度精度（如 0.1-1mm）影響裝配間隙與功能實(shí)現(xiàn)，需測量臺(tái)階高度偏差（≤0.005mm），確保裝配后無松動(dòng)或卡頓。

（二）設(shè)備配置與操作

硬件選擇：選用 10X 物鏡（水平分辨率 1.6μm，垂直分辨率 0.1nm，兼顧范圍與精度），若批量檢測可選自動(dòng)樣品臺(tái)（預(yù)設(shè)多個(gè)臺(tái)階測量點(diǎn)位）；

參數(shù)設(shè)置：掃描范圍 1-3mm×1-3mm（覆蓋臺(tái)階及兩側(cè)區(qū)域），數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1000 點(diǎn) /mm2（精準(zhǔn)捕捉臺(tái)階邊緣），開啟 “臺(tái)階分析" 專用功能；

測量流程：掃描完成后，在軟件中用鼠標(biāo)框選臺(tái)階兩側(cè)平面區(qū)域，軟件自動(dòng)識(shí)別臺(tái)階邊緣，計(jì)算高度值（如臺(tái)階設(shè)計(jì)高度 0.5mm，實(shí)測 0.503mm）。

（三）數(shù)據(jù)應(yīng)用

對(duì)比實(shí)測值與設(shè)計(jì)值，偏差超 0.005mm 時(shí)（如 0.506mm），調(diào)整加工設(shè)備（如銑床進(jìn)給量）；

統(tǒng)計(jì)同一零件不同位置臺(tái)階高度的一致性（如模具四周臺(tái)階高度偏差≤0.003mm），確保零件整體裝配精度。

三、機(jī)械零件微小缺陷檢測

（一）應(yīng)用場景與核心需求

精密軸類零件、液壓閥芯等易出現(xiàn)微小劃痕、凹坑（尺寸 0.1-1μm），此類缺陷可能導(dǎo)致密封失效或功能故障，需精準(zhǔn)識(shí)別并統(tǒng)計(jì)缺陷數(shù)量、尺寸，判斷零件是否合格。

（二）設(shè)備配置與操作

硬件選擇：選用 50X 物鏡（水平分辨率 0.64μm，可識(shí)別 0.1μm 以上缺陷），搭配高亮度 LED 光源（增強(qiáng)缺陷與零件表面的對(duì)比度）；

參數(shù)設(shè)置：掃描范圍 0.5-1mm×0.5-1mm（聚焦疑似缺陷區(qū)域），數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1200 點(diǎn) /mm2（清晰呈現(xiàn)缺陷細(xì)節(jié)），開啟 “缺陷識(shí)別" 功能（設(shè)置缺陷閾值：劃痕寬度≥0.1μm、深度≥0.05μm）；