ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案
通過針對性適配方案，ZeGage Pro 可突破柔性、磁性、透明脆性樣品的測量限制，滿足更多非常規(guī)場景的 3D 形貌測量需求。

產(chǎn)品型號：ZeGage Pro

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

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激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案

一、柔性薄膜樣品測量適配

（一）樣品特性與測量難點(diǎn)

柔性薄膜（如塑料薄膜、金屬箔片，厚度 5-50μm）易變形、褶皺，常規(guī)夾持易導(dǎo)致樣品拉伸，影響表面粗糙度、厚度測量精度；且部分薄膜透光性強(qiáng)，成像對比度低，難以捕捉表面細(xì)節(jié)。

（二）適配方案與操作

固定方式：選用真空吸附樣品臺（選配，型號 ZGP-ST01），吸附壓力設(shè)為 0.03-0.05MPa（根據(jù)薄膜厚度調(diào)整，薄膜用低壓力），使薄膜平整貼合臺面，避免褶皺；

光學(xué)調(diào)整：若薄膜透明，開啟軟件 “偏振光 + 增強(qiáng)對比度" 功能，調(diào)整光源亮度至 80%（常規(guī) 50%），提升表面紋理成像清晰度；

參數(shù)設(shè)置：選 20X 物鏡（平衡范圍與精度），掃描范圍 1mm×1mm，數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 800 點(diǎn) /mm2，掃描速度調(diào)慢至 0.5 秒 / 幀（減少氣流對薄膜的擾動）。

（三）應(yīng)用案例

測量 PET 薄膜表面粗糙度（要求 Ra≤0.05μm）：吸附固定后掃描，軟件清晰捕捉薄膜表面微小凸起，計(jì)算 Ra=0.042μm，符合要求；若未用真空吸附，薄膜褶皺導(dǎo)致 Ra 測量值偏差達(dá) 0.02μm。

二、磁性零件樣品測量適配

（一）樣品特性與測量難點(diǎn)

磁性零件（如永磁體、電磁鐵芯）表面磁場易干擾光學(xué)系統(tǒng)中的金屬部件（如物鏡支架），導(dǎo)致光路偏移，影響測量精度；且零件表面可能殘留鐵屑，干擾成像。

（二）適配方案與操作

磁場屏蔽：在樣品臺與設(shè)備主體間加裝坡莫合金屏蔽板（厚度 2mm，型號 ZGP-SH01），削弱磁場對光學(xué)系統(tǒng)的影響；

樣品清潔：測量前用無磁毛刷清掃零件表面鐵屑，再用無水乙醇擦拭，避免雜質(zhì)附著；

參數(shù)校準(zhǔn)：更換磁性樣品后，用標(biāo)準(zhǔn)臺階樣板（非磁性材質(zhì)，已知高度 0.5mm）重新校準(zhǔn)，確保垂直測量誤≤0.01μm；

硬件選擇：選 5X 或 10X 物鏡（低倍物鏡金屬部件少，受磁場影響小），避免用 50X 高倍物鏡（精密部件多，易受干擾）。

（三）應(yīng)用案例

測量電磁鐵芯臺階高度（設(shè)計(jì)值 0.8mm）：經(jīng)屏蔽與校準(zhǔn)后，實(shí)測值 0.802mm，偏差 0.002mm；未屏蔽時(shí)，磁場導(dǎo)致偏差達(dá) 0.01mm，超出合格范圍。

三、透明脆性樣品測量適配

（一）樣品特性與測量難點(diǎn)

透明脆性樣品（如玻璃鏡片、陶瓷薄片）易因夾持力過大碎裂，且透明材質(zhì)易產(chǎn)生光反射，導(dǎo)致干涉信號紊亂，影響厚度、平整度測量。

（二）適配方案與操作

夾持方式：用硅膠材質(zhì)柔性夾具（硬度 50 Shore A），夾持力控制在 5-10N（通過夾具調(diào)節(jié)螺絲微調(diào)），避免樣品受力碎裂；

光學(xué)優(yōu)化：在樣品底部墊黑色吸光襯墊（厚度 1mm，型號 ZGP-LN01），減少底面反射光干擾；軟件選擇 “透明樣品專用算法"，增強(qiáng)層間信號識別；

參數(shù)設(shè)置：選 50X 物鏡（測厚度）或 10X 物鏡（測平整度），掃描范圍 0.5-2mm×0.5-2mm，數(shù)據(jù)點(diǎn)密度 1000 點(diǎn) /mm2，確保捕捉層間細(xì)節(jié)。

（三）應(yīng)用案例

測量石英玻璃薄片厚度（設(shè)計(jì)值 0.3mm）：墊吸光襯墊后，軟件清晰識別玻璃上下表面，實(shí)測值 0.301mm，偏差 0.001mm；未墊襯墊時(shí)，反射光干擾導(dǎo)致厚度測量偏差達(dá) 0.005mm。

四、適配通用注意事項(xiàng)

樣品預(yù)處理：無論何種特殊樣品，均需清潔表面（無油污、雜質(zhì)），避免影響成像與數(shù)據(jù)；

分步測試：首測量特殊樣品時(shí)，先小范圍掃描（如 0.2mm×0.2mm），驗(yàn)證參數(shù)與適配方案是否可行，再擴(kuò)大掃描范圍；

數(shù)據(jù)對比：對同一特殊樣品重復(fù)測量 3 次，若數(shù)據(jù)偏≤0.01μm，說明適配方案穩(wěn)定，可批量測量。

通過針對性適配方案，ZeGage Pro 可突破柔性、磁性、透明脆性樣品的測量限制，滿足更多非常規(guī)場景的 3D 形貌測量需求。

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