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sensofar三維輪廓儀在新能源與環保檢測應用Sensofar S neox作為非接觸式輪廓儀的創新代表,在電子封裝領域展現出多維技術價值。
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sensofar三維輪廓儀在新能源與環保檢測應用

Sensofar S neox作為非接觸式輪廓儀的創新代表,在電子封裝領域展現出多維技術價值。其融合共聚焦、白光干涉與多焦面疊加技術,構建了無需硬件切換的柔性測量平臺,適配從納米級焊點到毫米級封裝體的三維形貌分析需求,為集成電路封裝、*封裝(如2.5D/3D TSV)、柔性電子等場景提供可靠解決方案。
在集成電路封裝中,焊點的形貌質量直接影響電氣連接可靠性。S neox的白光干涉模式可實現亞微米級焊點高度的精準測量,例如在球柵陣列(BGA)檢測中,設備通過動態相位解調算法將縱向分辨率提升至0.03nm,可捕捉焊點表面的微裂紋、空洞等缺陷。共聚焦模式則適用于封裝基板的表面粗糙度分析,通過多焦面疊加技術實現斜率超80°的曲面完整重建,確保基板平整度符合IPC-6012標準。
針對2.5D/3D TSV(硅通孔)封裝需求,S neox的相位差干涉模式可實現TSV孔壁的無損測量。在硅通孔電鍍層檢測中,設備通過偏振編碼技術分離金屬鍍層與硅基底界面信號,結合AI缺陷識別模塊,可自動標注孔壁粗糙度、鍍層厚度均勻性等參數,分類準確率達99.1%。其高動態范圍成像傳感器(16位)可同時捕捉鏡面反射與漫反射區域,確保在400:1的表面反光差異下仍能保持0.1nm級的高度測量精度。
柔性電子器件的表面形貌直接影響其彎折性能。S neox支持ISO 12085標準粗糙度計算,可輸出Ra、Rz等參數的量化評估結果。在柔性顯示屏檢測中,設備可捕捉基底表面的微納結構特征,如褶皺、脫層等缺陷,輔助優化薄膜沉積工藝。多焦面疊加技術則適用于柔性器件的彎曲形貌分析,確保器件在不同曲率狀態下的表面質量一致性。
設備操作流程注重電子封裝的特殊需求。SensoSCAN軟件內置電子封裝專用分析模塊,支持一鍵式測量模式切換與自動化參數配置。在產線集成場景中,設備可通過SECS/GEM協議對接自動化產線,實現測量數據的實時傳輸與工藝參數的動態調整。軟件支持2D/3D視圖實時切換與三維形貌渲染,幫助工程師直觀觀察表面微觀特征。
環境適應性方面,S neox采用模塊化機身設計與IP54防護等級光學系統,可適應無塵室、產線等多樣化環境需求。低膨脹玻璃陶瓷基座與鐵電液晶掃描引擎確保設備在溫度波動<0.1°C的環境中保持測量穩定性。其振動補償算法可在超100nm環境振動中穩定工作,滿足電子封裝對高精度測量的嚴苛環境要求。
通過技術融合與應用創新,Sensofar S neox在電子封裝檢測中展現出多維應用價值。其多模式測量能力與用戶友好的操作界面,為電子制造企業提供了從微觀形貌分析到宏觀工藝優化的完整解決方案,有效支持封裝良率提升與質量優化。在某國際半導體企業的實際應用中,設備成功將焊點缺陷檢測時間從傳統方法的3小時縮短至40分鐘,同時將檢測準確率提升至99.8%,推動了*封裝技術的產業化進程。
綜上所述,Sensofar S neox作為非接觸式輪廓儀的創新代表,通過技術融合與場景化應用創新,在電子封裝檢測中展現出不可替代的技術價值,成為推動電子制造技術進步的關鍵測量工具。
sensofar三維輪廓儀在新能源與環保檢測應用