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布魯克光學輪廓儀操作流程與日常維護規范

產品簡介

布魯克光學輪廓儀操作流程與日常維護規范
布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀的操作規范性與維護頻率,直接影響測量結果的可靠性與設備使用壽命。以下從標準操作與維護要點兩方面展開說明。

產品型號:ContourX-200
更新時間:2025-10-23
廠商性質:代理商
訪問量:93
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布魯克光學輪廓儀操作流程與日常維護規范

布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀的操作規范性與維護頻率,直接影響測量結果的可靠性與設備使用壽命。以下從標準操作與維護要點兩方面展開說明。


標準操作流程


  1. 開機準備:檢查電源電壓(220V/50Hz)與環境溫濕度(推薦20-25℃,40-60%RH),打開設備總電源,等待3分鐘初始化控制系統。啟動配套軟件,確認光學系統、運動平臺狀態顯示“就緒"。


  2. 樣品裝載:松開樣品平臺固定旋鈕,將樣品輕置于微晶玻璃基板上。對于不規則樣品,可使用真空吸附夾具固定(需提前開啟真空泵)。通過軟件預覽光學圖像,調節平臺X/Y軸位置,使樣品待測區域居中。


  3. 參數設置:根據樣品特性選擇測量模式(如“高反射"“低反射"),設置掃描范圍(Z軸高度)與分辨率(如0.5μm像素間距)。點擊“自動聚焦",設備將通過干涉條紋對比度優化Z軸位置。


  4. 數據采集與分析:啟動掃描后,軟件實時顯示三維形貌預覽圖。掃描完成后,可導出RAW、PLY或CSV格式數據,使用配套分析軟件測量粗糙度(Ra/Rz)、臺階高度、曲率半徑等參數。


  5. 關機與歸位:測量結束后,將Z軸升至最高位,關閉光學光源,退出軟件并切斷總電源。長期停機(>7天)時,需用防塵布覆蓋設備,避免灰塵附著光學鏡片。



日常維護要點


  • 清潔:每日用干燥軟毛刷清理樣品平臺表面顆粒;每周用無水乙醇(分析純)擦拭光學窗口與物鏡(避免用力按壓),去除指紋或油污;每月清潔散熱風扇濾網(位于設備背部),防止灰塵堆積影響散熱。


  • 校準:每季度使用標準臺階樣件(如NIST認證的10μm臺階片)驗證測量精度,若偏差超過±1%,需聯系工程師重新校準Z軸與物鏡倍率。


  • 環境監控:避免設備暴露在強磁場(>100Gauss)或強振動源(如離心機)附近,實驗室需配備穩壓電源(波動<±5%),防止電壓不穩損壞電子元件。



通過規范操作與定期維護,ContourX-200可在3-5年內保持穩定的測量性能,降低用戶的長期使用成本。布魯克光學輪廓儀操作流程與日常維護規范



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